Siliziozko oblearen oxido termikoa agente oxidatzaile batekin tenperatura altuko baldintzetan siliziozko oblearen gainazalean osatutako oxido-geruza edo silize-geruza bat da.Siliziozko oblearen oxido termikoa hodi-labe horizontalean hazten da normalean, eta hazkunde-tenperatura-tartea 900 º C ~ 1200 º C-koa da, eta bi hazkuntza-modu daude "oxidazio hezea" eta "oxidazio lehorra".Oxido-geruza termikoa CVD metatutako oxido-geruza baino homogeneotasun handiagoa eta indar dielektriko handiagoa duen oxido-geruza "hazi" bat da.Oxido termikoa geruza dielektriko bikaina da isolatzaile gisa.Silizioan oinarritutako gailu askotan, oxido termikoko geruzak paper garrantzitsua betetzen du dopinaren blokeo-geruza eta gainazaleko dielektriko gisa.
Aholkuak: Oxidazio mota
1. Oxidazio lehorra
Silizioak oxigenoarekin erreakzionatzen du, eta oxido-geruza oinarrizko geruzarantz mugitzen da.Oxidazio lehorra 850 eta 1200 º C bitarteko tenperaturan egin behar da, eta hazkunde-tasa baxua da, MOS isolamendu-atearen hazkuntzarako erabil daitekeena.Kalitate handiko silizio oxido-geruza ultramehea behar denean, oxidazio lehorra hobesten da oxidazio hezearen aldean.
Oxidazio lehorreko ahalmena: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Oxidazio hezea
Metodo honek hidrogeno eta purutasun handiko oxigeno nahasketa bat erabiltzen du ~ 1000 º C-tan erretzeko, horrela ur-lurruna sortzen du oxido-geruza bat osatzeko.Oxidazio hezeak oxidazio lehorra bezain kalitate handiko oxidazio geruza ekoitzi ezin badu ere, baina isolamendu-eremu gisa erabiltzeko nahikoa, oxidazio lehorrarekin alderatuta, abantaila argia da hazkunde-tasa handiagoa duela.
Oxidazio hezearen ahalmena: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Metodo lehorra - metodo hezea - metodo lehorra
Metodo honetan, oxigeno lehor purua oxidazio-labean askatzen da hasierako fasean, hidrogenoa gehitzen da oxidazioaren erdian eta hidrogenoa gordetzen da amaieran oxigeno lehor puruarekin oxidazioan jarraitzeko oxidazio-egitura trinkoagoa osatzeko. ohiko oxidazio-prozesu hezea ur-lurrun moduan.
4. TEOS oxidazioa
| Oxidazio Teknika | Oxidazio hezea edo oxidazio lehorra |
| Diametroa | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Oxidoaren lodiera | 100 Å ~ 15µm |
| Tolerantzia | +/- %5 |
| Azalera | Alde bakarreko oxidazioa (SSO) / Alde bikoitzeko oxidazioa (DSO) |
| Labea | Hodi horizontaleko labea |
| Gasa | Hidrogenoa eta oxigenoa gasa |
| Tenperatura | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Errefrakzio-indizea | 1.456 |
