Silizio-karburoaren estalduraren sarrera
Gure Chemical Vapor Deposition (CVD) Silizio Karburoa (SiC) estaldura oso iraunkorra eta higadura erresistentea den geruza bat da, korrosio eta erresistentzia termiko handia eskatzen duten inguruneetarako aproposa.Silizio-karburozko estalduraCVD prozesuaren bidez geruza meheetan aplikatzen da hainbat substratutan, errendimendu-ezaugarriak bikainak eskainiz.
Ezaugarri nagusiak
● -Araztasun apartekoa: konposizio ultrapurua harrotzen duena%99,99995, gureSiC estaldurakutsadura-arriskuak minimizatzen ditu erdieroale sentikorren eragiketetan.
● -Goiko Erresistentzia: higadurari eta korrosioari erresistentzia bikaina erakusten du, eta ezin hobea da konfigurazio kimiko eta plasmako erronkak egiteko.
● -Eroankortasun Termiko Handia: errendimendu fidagarria bermatzen du muturreko tenperaturetan, bere propietate termiko nabarmenengatik.
● -Dimentsio-egonkortasuna: Egituraren osotasuna mantentzen du tenperatura sorta zabalean, dilatazio termiko koefiziente baxuari esker.
● -Gogortasun hobetua: gogortasun balorazioarekin40 GPa, gure SiC estaldurak inpaktu eta urradura nabarmenak jasaten ditu.
● -Azalera leunaren akabera: ispilu-itxurako akabera ematen du, partikulen sorrera murriztuz eta eraginkortasun operatiboa hobetuz.
Aplikazioak
Semicera SiC estaldurakErdieroaleen fabrikazioaren hainbat fasetan erabiltzen dira, besteak beste:
● -LED txip fabrikazioa
● -Polisiliziozko Ekoizpena
● -Kristal erdieroaleen hazkundea
● -Silizioa eta SiC epitaxia
● -Oxidazio eta Difusio Termikoa (TO&D)
Erresistentzia handiko grafito isostatikoz, karbono-zuntzez indartutako karbonoz eta 4N silizio-karburo birkristalizatuz egindako SiC estalitako osagaiak hornitzen ditugu, ohe fluidizatuko erreaktoreetarako egokituta.STC-TCS bihurgailuak, CZ unitate islatzaileak, SiC obleen itsasontzia, SiCwafer pala, SiC obleen hodia eta PECVD, silizio epitaxia eta MOCVD prozesuetan erabiltzen diren obleen eramaileak.
Onurak
● -Bizialdi Luzatua: Ekipoen geldialdi-denbora eta mantentze-kostuak nabarmen murrizten ditu, ekoizpenaren eraginkortasun orokorra hobetuz.
● -Kalitate Hobetua: erdieroaleak prozesatzeko beharrezkoak diren purutasun handiko gainazalak lortzen ditu, eta horrela produktuaren kalitatea areagotzen du.
● -Eraginkortasuna Handitu: Prozesu termikoak eta CVD optimizatzen ditu, ziklo-denbora laburragoak eta etekin handiagoak lortuz.
Zehaztapen Teknikoak
● -Egitura: FCC β fase polikristalinoa, batez ere (111)orientatua
● -Dentsitatea: 3,21 g/cm³
● -Gogortasuna: 2500 Vickes gogortasuna (500 g karga)
● -Hasturaren Gogortasuna: 3,0 MPa·m1/2
● -Hedapen termikoaren koefizientea (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Modulu elastikoa(1300 ℃):435 GPa
● -Filmaren lodiera tipikoa:100 µm
● -Azaleko zimurtasuna:2-10 µm
Garbitasun-datuak (Glow Deskarga Masa Espektroskopia bidez neurtuta)
| Elementua | ppm | Elementua | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
