Semicerak aurkezten duObleen kasete eramailea, obleak erdieroaleen manipulazio seguru eta eraginkorrerako irtenbide kritikoa. Eramaile hau erdieroaleen industriaren eskakizun zorrotzak betetzeko diseinatuta dago, zure obleen babesa eta osotasuna bermatuz fabrikazio prozesu osoan.
Ezaugarri nagusiak:
•Eraikuntza sendoa:TheObleen kasete eramaileaErdieroaleen inguruneen zorroztasuna jasaten duten kalitate handiko material iraunkorrez eraikita dago, kutsaduraren eta kalte fisikoen aurkako babes fidagarria eskainiz.
•Lerrokadura zehatza:Obleak zehatz-mehatz lerrokatzeko diseinatuta, eramaile honek obleak ondo mantentzen direla bermatzen du, garraioan zehar desegokitzeko edo kaltetzeko arriskua gutxituz.
•Kudeaketa erraza:Erabilera errazteko ergonomikoki diseinatuta, garraiolariak karga eta deskarga prozesua errazten du, lan-fluxuaren eraginkortasuna hobetuz gela garbietako inguruneetan.
•Bateragarritasuna:Wafer tamaina eta mota ugarirekin bateragarria da, erdieroaleen fabrikazio-beharretarako aldakorra da.
Esperientzia paregabeko babesa eta erosotasuna Semicera-rekinObleen kasete eramailea. Gure garraiolaria erdieroaleen fabrikazio estandar gorenei erantzuteko diseinatuta dago, zure obleak hasieratik amaierara egoera ezin hobean egongo direla bermatuz. Fidatu Semicera zure prozesu kritikoenetarako behar duzun kalitatea eta fidagarritasuna emateko.
| Elementuak | Ekoizpena | Ikerketa | Manikoa |
| Kristal Parametroak | |||
| Politipoa | 4H | ||
| Gainazalaren orientazio errorea | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametro elektrikoak | |||
| Dopatzailea | n motako nitrogenoa | ||
| Erresistentzia | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametro mekanikoak | |||
| Diametroa | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Lodiera | 350±25 μm | ||
| Orientazio lau nagusia | [1-100]±5° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 47,5±1,5 mm | ||
| Bigarren mailako pisua | Bat ere ez | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arkua | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Egitura | |||
| Mikrohodiaren dentsitatea | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalezko ezpurutasunak | ≤5E10atomo/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Aurrealdeko Kalitatea | |||
| Aurrealdea | Si | ||
| Gainazaleko akabera | Si-face CMP | ||
| Partikulak | ≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) | NA | |
| Marradurak | ≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa | Luzera metatua≤2*Diametroa | NA |
| Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura | Bat ere ez | NA | |
| Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak | Bat ere ez | ||
| Politipo eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua≤% 20 | Azalera metatua≤% 30 |
| Aurrealdeko laser bidezko markaketa | Bat ere ez | ||
| Itzuli Kalitatea | |||
| Atzeko akabera | C-aurpegia CMP | ||
| Marradurak | ≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa | NA | |
| Atzealdeko akatsak (ertz txirbilak/koskak) | Bat ere ez | ||
| Bizkarreko zakartasuna | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Atzeko laser bidezko markaketa | 1 mm (goiko ertzetik) | ||
| Ertza | |||
| Ertza | Txanflarra | ||
| Enbalajea | |||
| Enbalajea | Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kaseteen ontziratzea | ||
| *Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. | |||
