Wafer Lotura Teknologia

MEMS prozesatzea - ​​Lotura: aplikazioa eta errendimendua erdieroaleen industrian, Semicera pertsonalizatutako zerbitzua

 

Mikroelektronikako eta erdieroaleen industrietan, MEMS (sistema mikroelekromekanikoak) teknologia berrikuntza eta errendimendu handiko ekipoak bultzatzen dituen oinarrizko teknologietako bat bihurtu da. Zientziaren eta teknologiaren aurrerapenarekin, MEMS teknologia sentsoreetan, eragingailuetan, gailu optikoetan, ekipamendu medikoetan, automobilgintzako elektronikan eta beste alor batzuetan oso erabilia izan da, eta pixkanaka teknologia modernoaren ezinbesteko zati bihurtu da. Eremu horietan, lotura-prozesuak (Bonding), MEMS prozesatzeko funtsezko urrats gisa, ezinbestekoa du gailuaren errendimenduan eta fidagarritasunean.

 

Lotura bi material edo gehiago bitarteko fisiko edo kimikoen bidez irmoki konbinatzen dituen teknologia da. Normalean, material geruza desberdinak MEMS gailuetan lotuz konektatu behar dira egituraren osotasuna eta errealizazio funtzionala lortzeko. MEMS gailuen fabrikazio-prozesuan, lotura ez da konexio-prozesu bat bakarrik, egonkortasun termikoari, erresistentzia mekanikoari, errendimendu elektrikoari eta gailuaren beste alderdi batzuei ere eragiten die zuzenean.

 

Zehaztasun handiko MEMS prozesatzeko, lotura-teknologiak materialen arteko lotura estua bermatu behar du, gailuaren errendimenduan eragiten duten akatsak saihestuz. Hori dela eta, lotura-prozesuaren kontrol zehatza eta kalitate handiko lotura-materialak funtsezko faktoreak dira azken produktuak industriako estandarrak betetzen dituela ziurtatzeko.

 

1-210H11H51U40 

MEMS lotura-aplikazioak erdieroaleen industrian

Erdieroaleen industrian, MEMS teknologia oso erabilia da mikro gailuak ekoizten, hala nola sentsoreak, azelerometroak, presio sentsoreak eta giroskopioak. Produktu miniaturizatu, integratu eta adimentsuen eskaera gero eta handiagoa dela eta, MEMS gailuen zehaztasun eta errendimendu eskakizunak ere handitzen ari dira. Aplikazio hauetan, lotura-teknologia erabiltzen da hainbat material konektatzeko, hala nola siliziozko obleak, beira, metalak eta polimeroak, funtzio eraginkor eta egonkorrak lortzeko.

 

1. Presio-sentsoreak eta azelerometroak
Automobilgintzaren, aeroespazialaren, kontsumo-elektronikaren eta abarren alorretan, MEMS presio-sentsoreak eta azelerometroak oso erabiliak dira neurketa- eta kontrol-sistemetan. Lotura-prozesua silizio-txipak eta sentsore-elementuak konektatzeko erabiltzen da sentikortasun eta zehaztasun handia bermatzeko. Sentsore hauek muturreko ingurune-baldintzak jasan behar dituzte, eta kalitate handiko lotura-prozesuek modu eraginkorrean saihes dezakete materialak tenperatura-aldaketen ondorioz desmuntatzea edo gaizki funtzionatzea.

 

2. Gailu mikrooptikoak eta MEMS etengailu optikoak
Komunikazio optikoen eta laser gailuen alorrean, MEMS gailu optikoek eta etengailu optikoek zeresan handia dute. Lotura-teknologia silizioan oinarritutako MEMS gailuen eta materialen arteko konexio zehatza lortzeko erabiltzen da, hala nola zuntz optikoak eta ispiluak, seinale optikoaren transmisioaren eraginkortasuna eta egonkortasuna bermatzeko. Batez ere maiztasun handiko, banda zabaleko eta distantzia luzeko transmisioa duten aplikazioetan, errendimendu handiko lotura-teknologia funtsezkoa da.

 

3. MEMS giroskopioak eta sentsore inertzialak
MEMS giroskopioak eta sentsore inertzialak oso erabiliak dira nabigazio eta kokapen zehatzetarako goi-mailako industrietan, hala nola gidatze autonomoa, robotika eta aeroespaziala. Doitasun handiko lotura-prozesuek gailuen fidagarritasuna berma dezakete eta epe luzeko funtzionamenduan edo maiztasun handiko funtzionamenduan errendimenduaren degradazioa edo hutsegitea saihestu dezakete.

 

MEMS prozesatzeko lotura-teknologiaren errendimendu-eskakizun nagusiak

MEMS prozesatzen, lotura-prozesuaren kalitateak zuzenean zehazten du gailuaren errendimendua, bizitza eta egonkortasuna. MEMS gailuek hainbat aplikazio agertokitan denbora luzez modu fidagarrian funtziona dezaketela ziurtatzeko, lotura-teknologiak funtsezko errendimendu hau izan behar du:

1. Egonkortasun termiko handia
Erdieroaleen industriako aplikazio-ingurune askok tenperatura-baldintzak dituzte, batez ere automobilgintza, aeroespaziala, etab. Lotura-materialaren egonkortasun termikoa funtsezkoa da eta tenperatura-aldaketak jasan ditzake degradatu edo huts egin gabe.

 

2. Higadura erresistentzia handia
MEMS gailuek egitura mikro-mekanikoak izan ohi dituzte, eta epe luzerako marruskadurak eta mugimenduak konexio-piezen higadura eragin dezakete. Lotura-materialak higadura-erresistentzia bikaina izan behar du gailuaren egonkortasuna eta eraginkortasuna bermatzeko epe luzerako erabileran.

 

3. Garbitasun handia

Erdieroaleen industriak oso baldintza zorrotzak ditu materialaren garbitasunean. Kutsatzaile txikiek gailuaren hutsegite edo errendimendua hondatu dezakete. Hori dela eta, lotura-prozesuan erabilitako materialek garbitasun oso handia izan behar dute funtzionatzen ari den bitartean gailuak kanpoko kutsaduraren eraginik izan ez dezan.

 

4. Loturaren zehaztasun zehatza
MEMS gailuek sarritan mikra-mailako edo are nanometro-mailako prozesatzeko zehaztasuna behar dute. Lotura-prozesuak material geruza bakoitzaren atrakatze zehatza bermatu behar du, gailuaren funtzioa eta errendimendua kaltetu ez daitezen.

 

1-210H11H304549 1-210GFZ0050-L

Lotura anodikoa

Lotura anodikoa:
● Siliziozko obleen eta beiraren, metalaren eta beiraren, erdieroaleen eta aleazioen eta erdieroaleen eta beiraren arteko loturari aplikatzekoa.
Lotura eutektoidea:
● PbSn, AuSn, CuSn eta AuSi bezalako materialen aplikagarria

Kola-lotura:
● Erabili kola berezia, AZ4620 eta SU8 bezalako kola berezietarako egokia
● 4 hazbeteko eta 6 hazbetekoentzat aplikagarria

 

Semicera Lotura Zerbitzua

MEMS prozesatzeko soluzioen industriako hornitzaile nagusi gisa, Semicera konpromisoa hartu du bezeroei doitasun handiko eta egonkortasun handiko lotura zerbitzu pertsonalizatuak eskaintzeko. Gure lotura-teknologia asko erabil daiteke material ezberdinen konexioan, besteak beste, silizioa, beira, metala, zeramika, etab., erdieroaleen eta MEMS eremuko goi-mailako aplikazioetarako soluzio berritzaileak eskainiz.

 

Semicerak produkzio-ekipo aurreratuak eta talde teknikoak ditu, eta bezeroen behar espezifikoen arabera pertsonalizatutako lotura-irtenbideak eman ditzake. Tenperatura altuko eta presio handiko ingurunean konexio fidagarria den ala ez, edo mikro-gailuen lotura zehatza den ala ez, Semicera-k hainbat prozesu-eskakizun konplexu bete ditzake produktu bakoitzak kalitate estandar gorenak bete ditzakeela ziurtatzeko.

 

Gure pertsonalizatutako lotura-zerbitzua ez da ohiko lotura-prozesuetara mugatzen, baizik eta metal-lotura, konpresio termikoko lotura, itsasgarri-lotura eta beste prozesu batzuk ere barne hartzen ditu, material, egitura eta aplikazio-eskakizun desberdinetarako laguntza tekniko profesionala eskain dezaketenak. Horrez gain, Semicerak bezeroei zerbitzu osoa eman diezaieke prototipoen garapenetik hasi eta masa-ekoizpenera arte, bezeroen eskakizun tekniko guztiak zehaztasunez bete daitezkeela ziurtatzeko.