Tantalio karburoa estalitako susceptor euskarri-plakageruza mehe batez estalita dagoen suszeptore edo euskarri-egitura datantalio karburoa. Estaldura hau suszeptorearen gainazalean osa daiteke lurrun-deposizio fisikoa (PVD) edo lurrun-jadatze kimikoa (CVD) bezalako tekniken bidez, suszeptoreari propietate nagusiak emanez.tantalio karburoa.
Semicerak tantalio karburoa (TaC) estaldura espezializatuak eskaintzen ditu hainbat osagai eta garraiolarirentzat.Semicera-ren estaldura-prozesu nagusiak tantalio karburoa (TaC) estaldurei garbitasun handia, tenperatura altuko egonkortasuna eta tolerantzia kimiko handia lortzeko aukera ematen die, SIC/GAN kristalen eta EPI geruzen produktuen kalitatea hobetuz (Grafitoz estalitako TaC susceptor), eta erreaktoreen osagai nagusien bizitza luzatzea. Tantalo karburoaren TaC estaldura erabiltzea ertzaren arazoa konpontzeko eta kristalen hazkuntzaren kalitatea hobetzeko da, eta Semicerak aurrerapausoa eman du tantalio karburoaren estalduraren teknologia (CVD), nazioarteko maila aurreratura iritsiz.
Urteetako garapenaren ondoren, Semicerak teknologia konkistatu duCVD TaCI+G sailaren baterako ahaleginarekin. Akatsak erraz gertatzen dira SiC obleen hazkuntza-prozesuan, baina erabili ondorenTaC, aldea nabarmena da. Jarraian, TaC duten eta ez duten obleen konparaketa dago, baita kristal bakarreko hazkuntzarako Simicera' zatiak ere.
Tanto karburoa estalitako oinarri-euskarri-plaken ezaugarri nagusiak hauek dira:
1. Tenperatura altuko egonkortasuna: tantalio-karburoak tenperatura altuko egonkortasun bikaina du, estalitako oinarri-euskarri-plaka egokia da tenperatura altuko lan-inguruneetako laguntza beharretarako.
2. Korrosioarekiko erresistentzia: tantalio karburozko estaldurak korrosioarekiko erresistentzia ona du, korrosio kimikoari eta oxidazioari aurre egin diezaioke eta oinarriaren bizitza luzatzen du.
3. Gogortasun eta higadura erresistentzia handia: tantalio karburoaren estalduraren gogortasun handiak oinarrizko euskarriaren plakari higadura erresistentzia ona ematen dio, higadura erresistentzia handia behar duten kasuetarako egokia dena.
4. Egonkortasun kimikoa: tantalio-karburoak egonkortasun handia du hainbat substantzia kimikoekiko, estalitako oinarri-euskarri-plakak ondo funtzionatzen du ingurune korrosibo batzuetan.
TaC-arekin eta gabe
TaC erabili ondoren (eskuinean)
Gainera, SemicerarenaTaC estalitako produktuakbizitza luzeagoa eta tenperatura altuko erresistentzia handiagoa erakusten duteSiC estaldurak.Laborategiko neurketek frogatu dute gureTaC estaldurak2300 gradu Celsius arteko tenperaturetan etengabe funtziona dezake denbora luzez. Jarraian, gure laginen adibide batzuk daude:
