TaC estalduraestaldura material garrantzitsu bat da, normalean grafitozko oinarrian prestatzen dena, metal organiko kimiko lurrun-deposizioaren (MOCVD) teknologiaren bidez. Estaldura honek propietate bikainak ditu, hala nola, gogortasun handia, higadura erresistentzia bikaina, tenperatura altuko erresistentzia eta egonkortasun kimikoa, eta eskaera handiko ingeniaritza aplikazioetarako egokia da.
MOCVD teknologia erabili ohi den film mehe hazteko teknologia da, nahi den film konposatua substratuaren gainazalean metatzen duena, aitzindari organiko metalikoekin gas erreaktiboekin erreakzionatuz tenperatura altuetan. PrestatzerakoanTaC estaldura, aitzindari organiko metaliko egokiak eta karbono-iturri egokiak hautatuz, erreakzio-baldintzak eta deposizio-parametroak kontrolatuz, TaC film uniforme eta trinko bat jar daiteke grafito-oinarri batean.
Semicerak tantalio karburoa (TaC) estaldura espezializatuak eskaintzen ditu hainbat osagai eta garraiolarirentzat.Semicera-ren estaldura-prozesu nagusiak tantalio karburoa (TaC) estaldurei garbitasun handia, tenperatura altuko egonkortasuna eta tolerantzia kimiko handia lortzeko aukera ematen die, SIC/GAN kristalen eta EPI geruzen produktuen kalitatea hobetuz (Grafitoz estalitako TaC susceptor), eta erreaktoreen osagai nagusien bizitza luzatzea. Tantalo karburoaren TaC estaldura erabiltzea ertzaren arazoa konpontzeko eta kristalen hazkuntzaren kalitatea hobetzeko da, eta Semicerak aurrerapausoa eman du tantalio karburoaren estalduraren teknologia (CVD), nazioarteko maila aurreratura iritsiz.
Urteetako garapenaren ondoren, Semicerak teknologia konkistatu duCVD TaCI+G sailaren baterako ahaleginarekin. Akatsak erraz gertatzen dira SiC obleen hazkuntza-prozesuan, baina erabili ondorenTaC, aldea nabarmena da. Jarraian, TaC duten eta ez duten obleen konparaketa dago, baita kristal bakarreko hazkuntzarako Simicera' zatiak ere.
TaC-arekin eta gabe
TaC erabili ondoren (eskuinean)
Gainera, SemicerarenaTaC estalitako produktuakbizitza luzeagoa eta tenperatura altuko erresistentzia handiagoa erakusten duteSiC estaldurak.Laborategiko neurketek frogatu dute gureTaC estaldurak2300 gradu Celsius arteko tenperaturetan etengabe funtziona dezake denbora luzez. Jarraian, gure laginen adibide batzuk daude:
