SOI Ostia

Deskribapen laburra:

SOI ostia hiru geruza dituen ogitarteko moduko egitura da; Goiko geruza (gailuaren geruza), lurperatutako oxigeno geruzaren erdialdea (SiO2 geruza isolatzailea) eta beheko substratua (silizio masiboa) barne. SOI obleak SIMOX metodoa eta oblea lotzeko teknologia erabiliz ekoizten dira, gailuen geruza finagoak eta zehatzagoak, lodiera uniformea ​​eta akatsen dentsitate txikia ahalbidetzen dituena.


Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

SOI obleak (1)

Aplikazio-eremua

1. Abiadura handiko zirkuitu integratua

2. Mikrouhin-labeak

3. Tenperatura handiko zirkuitu integratua

4. Potentzia-gailuak

5. Potentzia baxuko zirkuitu integratua

6. MEMEAK

7. Behe-tentsioko zirkuitu integratua

Elementua

Argudioa

Orokorrean

Oblearen diametroa
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Arku/Deforma
翘曲度(

<10um

Partikulak
颗粒度(

0,3um<30ea

Lauak/Notch
定位边/定位槽

Laua edo Notch

Ertz-bazterketa
边缘去除(mm)

/

Gailu geruza
器件层

Gailu-geruza mota/Dopatzailea
器件层掺杂类型

N-mota/P-mota
B/ P/ Sb / As

Gailu-geruzaren orientazioa
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Gailu-geruza Lodiera
器件层厚度(um)

0,1 ~ 300um

Gailu-geruzaren erresistentzia
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001 ~ 100.000 ohm-cm

Gailu-geruza Partikulak
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

Gailu geruza TTV
器件层TTV(

<10um

Gailu geruzaren amaiera
器件层表面处理

Leundua

KUTXA

Ehortzitako oxido termikoen lodiera
埋氧层厚度(um)

50nm (500Å)~15um

Helduleku Geruza
衬底

Heldulekua Wafer Mota/Dopantea
衬底层类型

N-mota/P-mota
B/ P/ Sb / As

Heldulekua Wafer Orientazioa
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Kudeatu obleen erresistentzia
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001 ~ 100.000 ohm-cm

Heldulekua Wafer lodiera
衬底厚度(um)

> 100um

Heldulekua Wafer akabera
衬底表面处理

Leundua

Xedeko zehaztapenen SOI ostia pertsonalizatu daitezke bezeroen eskakizunen arabera.

Semicera Lantokia Semicera lantokia 2

Ekipamendu-makinaCNN prozesatzea, garbiketa kimikoa, CVD estaldura

Gure zerbitzua


  • Aurrekoa:
  • Hurrengoa: