Deskribapena
Semicera-ren SiC estalitako grafitoaren suszeptoreak kalitate handiko grafitozko substratuak erabiliz diseinatuta daude, Silizio Karburoz (SiC) zorrotz estaliak, Lurrun Kimikoen Deposizio (CVD) prozesu aurreratuen bidez. Diseinu berritzaile honek shock termikoaren eta degradazio kimikoarekiko erresistentzia paregabea bermatzen du, SiC estalitako grafitoaren suszeptorearen bizitza nabarmen luzatuz eta erdieroaleen fabrikazio prozesu osoan errendimendu fidagarria bermatuz.
Ezaugarri nagusiak:
1. Goi-eroankortasun termikoaSiC estalitako grafito suszeptoreak eroankortasun termiko bikaina erakusten du, eta hori funtsezkoa da erdieroaleen fabrikazioan beroa eraginkorra xahutzeko. Ezaugarri honek obleen gainazaleko gradiente termikoak minimizatzen ditu, nahi diren erdieroaleen propietateak lortzeko ezinbestekoa den tenperatura banaketa uniformea sustatuz.
2. Shock Kimiko eta Termikoen Erresistentzia sendoaSiC estaldurak korrosio kimikoaren eta shock termikoaren aurkako babes izugarria eskaintzen du, grafitoaren suszeptorearen osotasuna mantenduz prozesatzeko ingurune gogorretan ere. Iraunkortasun hobetu honek geldiune-denbora murrizten du eta iraupena luzatzen du, erdieroaleen fabrikazio-instalazioetan produktibitatea eta kostu-eraginkortasuna areagotzen lagunduz.
3. Behar zehatzetarako pertsonalizazioaGure SiC estalitako grafito suszeptoreak eskakizun eta hobespen zehatzak betetzeko egokitu daitezke. Pertsonalizazio aukera ugari eskaintzen ditugu, tamaina doikuntzak eta estalduraren lodieraren aldaerak barne, diseinuaren malgutasuna eta errendimendu optimizatua aplikazio eta prozesu parametro desberdinetarako.
Aplikazioak:
AplikazioakSemicera SiC estaldurak erdieroaleen fabrikazioko hainbat fasetan erabiltzen dira, besteak beste:
1. -LED txip fabrikazioa
2. -Poliziliozko Ekoizpena
3. -Kristal Erdieroaleen Hazkundea
4. -Silizioa eta SiC Epitaxia
5. -Oxidazio eta Difusio Termikoa (TO&D)