SiC estalitaGrafitoa Halfmoon Parterdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den funtsezko osagaia da, batez ere SiC epitaxial ekipoetarako. Gure patentatutako teknologia erabiltzen dugu ilargi erdiko zatia oso garbitasun handikoa, estaldura-uniformitate ona eta zerbitzu-bizitza bikainarekin egiteko, baita erresistentzia kimiko eta egonkortasun termikoko propietate handikoak ere.
