SemiceraSilizio-karburoa zeramikazko estalduraerrendimendu handiko babes-estaldura bat da, oso gogor eta higadura erresistentea den silizio-karburozko (SiC) materialarekin. Estaldura substratuaren gainazalean metatzen da CVD edo PVD prozesuarekinsilizio karburo partikulak, korrosio kimikoaren erresistentzia bikaina eta tenperatura altuko egonkortasuna eskainiz. Hori dela eta, Silizio Karburo Zeramikazko Estaldura oso erabilia da erdieroaleen fabrikazio-ekipoen funtsezko osagaietan.
Erdieroaleen fabrikazioan,SiC estaldura1600 °C-ko tenperatura oso altuak jasan ditzake, beraz, silizio-karburo zeramikazko estaldura sarritan erabiltzen da ekipamendu edo tresnen babes-geruza gisa tenperatura altuetan edo ingurune korrosiboetan kalteak saihesteko.
Aldi berean,silizio karburozko zeramikazko estalduraAzido, alkali, oxido eta beste erreaktibo kimiko batzuen higadurari aurre egin diezaioke eta korrosioarekiko erresistentzia handia du hainbat substantzia kimikorekiko. Hori dela eta, produktu hau erdieroaleen industriako hainbat ingurune korrosiboetarako egokia da.
Gainera, zeramikazko beste material batzuekin alderatuta, SiC-k eroankortasun termiko handiagoa du eta beroa modu eraginkorrean eroan dezake. Ezaugarri honek zehazten du tenperaturaren kontrol zehatza behar duten erdieroaleen prozesuetan eroankortasun termiko handia delaSilizio-karburoa zeramikazko estalduraBeroa uniformeki barreiatzen laguntzen du, tokiko gainberotzea saihesten du eta gailuak tenperatura optimoan funtzionatzen duela ziurtatzen du.
| CVD sic estalduraren oinarrizko propietate fisikoak | |
| Jabetza | Balio Tipikoa |
| Kristal Egitura | FCC β fase polikristalinoa, nagusiki (111) orientatua |
| Dentsitatea | 3,21 g/cm³ |
| Gogortasuna | 2500 Vickers gogortasuna (500 g karga) |
| Ale Tamaina | 2~10μm |
| Garbitasun kimikoa | %99,99995 |
| Bero Ahalmena | 640 J·kg-1·K-1 |
| Sublimazio-tenperatura | 2700 ℃ |
| Flexur Indarra | 415 MPa RT 4 puntu |
| Gazteen Modulua | 430 Gpa 4pt bihurgunea, 1300 ℃ |
| Eroankortasun termikoa | 300W·m-1·K-1 |
| Hedapen termikoa (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
