Deskribapena
Semicorex-en SiC Wafer Susceptors MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) deposizio epitaxial-prozesuen eskakizun zorrotzei erantzuteko diseinatuta daude. Kalitate handiko silizio karburoa (SiC) erabiliz, susceptor hauek iraunkortasun eta errendimendu paregabeak eskaintzen dituzte tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan, material erdieroaleen hazkunde zehatza eta eraginkorra bermatuz.
Ezaugarri nagusiak:
1. Goi Mailako Material PropietateakGoi-mailako SiCz eraikita, gure obleen susceptorek eroankortasun termiko eta erresistentzia kimiko bikainak dituzte. Propietate horiei esker, MOCVD prozesuen muturreko baldintzei jasateko aukera ematen diete, tenperatura altuak eta gas korrosiboak barne, iraupena eta errendimendu fidagarria bermatuz.
2. Zehaztasuna deposizio epitaxialeanGure SiC Wafer Susceptors-en ingeniaritza zehatzak tenperatura banaketa uniformea bermatzen du obleen gainazalean, geruza epitaxial koherentea eta kalitate handiko hazkuntza erraztuz. Zehaztasun hori funtsezkoa da propietate elektriko optimoak dituzten erdieroaleak ekoizteko.
3. Iraunkortasuna hobetuaSiC material sendoak higaduraren eta degradazioaren aurkako erresistentzia bikaina eskaintzen du, prozesu-ingurune gogorren eraginpean egonda ere. Iraunkortasun horrek suszeptoreen ordezkapenen maiztasuna murrizten du, geldialdi-denbora eta kostu operatiboak gutxituz.
Aplikazioak:
Semicorex-en SiC Wafer Susceptors MOCVDrako oso egokiak dira:
• Material erdieroaleen hazkunde epitaxiala
• Tenperatura handiko MOCVD prozesuak
• GaN, AlN eta beste erdieroale konposatuen ekoizpena
• Erdieroaleak fabrikatzeko aplikazio aurreratuak
CVD-SIC estalduraren zehaztapen nagusiak:
Abantailak:
•Zehaztasun handikoa: Hazkunde epitaxial uniformea eta kalitatezkoa bermatzen du.
•Iraupen luzeko errendimendua: Iraunkortasun bikainak ordezkapen maiztasuna murrizten du.
• Kostu-eraginkortasuna: kostu operatiboak murrizten ditu geldialdi-denborak eta mantentze-lanak murriztuz.
•Aniztasuna: Pertsonalizagarria MOCVD prozesuko hainbat eskakizunetara egokitzeko.