Semiceraaurkezten duErdieroaleen kasetea, obleak erdieroaleen fabrikazio prozesu osoan zehar seguru eta eraginkortasunez manipulatzeko ezinbesteko tresna. Zehaztasun handiz diseinatuta, kasete honek zure obleak modu seguruan gorde eta garraiatzen direla ziurtatzen du, haien osotasuna mantenduz fase guztietan.
Goi-mailako babesa eta iraunkortasunaTheErdieroaleen kaseteaSemicera-tik zure oblei babes handiena eskaintzeko eraiki da. Kutsadurari erresistenteak diren material sendoez egina, zure obleak balizko kalteetatik eta kutsaduratik babesten ditu, eta aukera ezin hobea da gela garbietarako. Kasetearen diseinuak partikularen sorrera murrizten du eta obleak ukitu gabe eta seguru mantentzen direla bermatzen du manipulatzean eta garraiatzean.
Errendimendu optimorako diseinu hobetuaSemicerarenaErdieroaleen kaseteaZehatz-mehatz diseinatutako diseinua du, obleen lerrokadura zehatza eskaintzen duena, okerrak eta kalte mekanikoak izateko arriskua murriztuz. Kasetearen zirrikituak ezin hobeto banatuta daude oblea bakoitzari modu seguruan eusteko, marradurak edo bestelako akatsak eragin ditzakeen mugimenduak saihestuz.
Aniztasuna eta bateragarritasunaTheErdieroaleen kaseteapolifazetikoa eta oblearen tamaina ezberdinekin bateragarria da, erdieroaleen fabrikazio fase desberdinetarako egokia da. Obleen dimentsio estandar edo pertsonalizatuekin lan egiten ari zaren ala ez, kasete hau zure beharretara egokitzen da, zure fabrikazio prozesuetan malgutasuna eskainiz.
Kudeaketa erraztua eta eraginkortasunaErabiltzailea kontuan hartuta diseinatuaSemicera Erdieroaleen kaseteaarina eta maneiatzeko erraza da, karga eta deskarga azkar eta eraginkorrak ahalbidetuz. Diseinu ergonomiko honek denbora aurrezteaz gain, giza akatsen arriskua murrizten du, zure instalazioetan funtzionamendu egokia bermatuz.
Industria-arauak betetzeaSemicerak bermatzen duErdieroaleen kaseteakalitate eta fidagarritasun arloko industria estandar gorenak betetzen ditu. Kasete bakoitzak proba zorrotzak egiten ditu erdieroaleen fabrikazioaren baldintza zorrotzetan etengabe funtzionatzen duela bermatzeko. Kalitatearekiko dedikazio honek zure obleak beti babestuta daudela ziurtatzen du, industrian eskatzen diren estandar altuak mantenduz.
| Elementuak | Ekoizpena | Ikerketa | Manikoa |
| Kristal Parametroak | |||
| Politipoa | 4H | ||
| Gainazalaren orientazio errorea | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametro elektrikoak | |||
| Dopatzailea | n motako nitrogenoa | ||
| Erresistentzia | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametro mekanikoak | |||
| Diametroa | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Lodiera | 350±25 μm | ||
| Orientazio lau nagusia | [1-100]±5° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 47,5±1,5 mm | ||
| Bigarren mailako pisua | Bat ere ez | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arkua | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Egitura | |||
| Mikrohodiaren dentsitatea | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalezko ezpurutasunak | ≤5E10atomo/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Aurrealdeko Kalitatea | |||
| Aurrealdea | Si | ||
| Gainazaleko akabera | Si-face CMP | ||
| Partikulak | ≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) | NA | |
| Marradurak | ≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa | Luzera metatua≤2*Diametroa | NA |
| Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura | Bat ere ez | NA | |
| Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak | Bat ere ez | ||
| Politipo eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua≤% 20 | Azalera metatua≤% 30 |
| Aurrealdeko laser bidezko markaketa | Bat ere ez | ||
| Itzuli Kalitatea | |||
| Atzeko akabera | C-aurpegia CMP | ||
| Marradurak | ≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa | NA | |
| Atzealdeko akatsak (ertz txirbilak/koskak) | Bat ere ez | ||
| Bizkarreko zakartasuna | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Atzeko laser bidezko markaketa | 1 mm (goiko ertzetik) | ||
| Ertza | |||
| Ertza | Txanflarra | ||
| Enbalajea | |||
| Enbalajea | Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kaseteen ontziratzea | ||
| *Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. | |||
