SiC estalitaGrafitoa Halfmoon Parterdieroaleen fabrikazio prozesuetan erabiltzen den funtsezko osagaia da, batez ere SiC epitaxial ekipoetarako. Gure patentatutako teknologia erabiltzen dugu ilargi erdiko zatia oso garbitasun handikoa, estaldura-uniformitate ona eta zerbitzu-bizitza bikainarekin egiteko, baita erresistentzia kimiko eta egonkortasun termikoko propietate handikoak ere.
-
Oxidazioaren aurkako purutasun handiko SiC estalitako MOCVD erretilua
-
Tenperatura altuak eta korrosioarekiko erresistenteak diren LED Si...
-
Epitaxia obleen eramailea
-
Erdieroale Silizioan oinarritutako GaN epitaxia
-
Silizio-karburoa zeramikazko estaldura
-
Puritate handiko tantalio karburoa (TaC) estaldurak...