RTPCVD SiC eraztunakoso erabiliak dira industria eta zientzia arloetan tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan. Eginkizun garrantzitsua betetzen du erdieroaleen fabrikazioan, optoelektronikan, doitasun-makinetan eta industria kimikoan. Aplikazio espezifikoak honako hauek dira:
1. Erdieroaleen fabrikazioa:RTP CVD SiC eraztunakErdieroaleen ekipamenduak berotzeko eta hozteko erabil daiteke, tenperatura-kontrol egonkorra eskainiz eta prozesuaren zehaztasuna eta koherentzia bermatuz.
2. Optoelektronika: bere eroankortasun termiko bikainagatik eta tenperatura altuko erresistentziagatik, RTPCVD SiC eraztunakeuskarri eta beroa xahutzeko material gisa erabil daiteke laserretarako, zuntz optikoko komunikazio ekipoetarako eta osagai optikoetarako.
3. Doitasun-makineria: RTP CVD SiC eraztunak tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetako doitasun-tresnak eta ekipamenduetarako erabil daitezke, hala nola, tenperatura altuko labeak, hutseko gailuak eta erreaktore kimikoak.
4. Industria kimikoa: Korrosioarekiko erresistentzia eta egonkortasun kimikoa direla eta, RTP CVD SiC eraztunak ontzi, hodi eta erreaktoreetan erabil daitezke erreakzio kimikoetan eta prozesu katalitikoetan.
Epi Sistema
RTP Sistema
CVD Sistema
Produktuaren errendimendua:
1. Ezagutu 28nm-tik beherako prozesua
2. Super korrosioarekiko erresistentzia
3. Errendimendu super garbia
4. Super gogortasuna
5. Dentsitate handia
6. Tenperatura handiko erresistentzia
7. Higadura erresistentzia
Produktuen aplikazioa:
Silizio karburozko materialek gogortasun handiko, higadura erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta tenperatura altuko egonkortasunaren ezaugarriak dituzte. Errendimendu integral bikaina duten produktuak oso erabiliak dira grabaketa lehorrean eta TF/Difusio prozesuetan.
Produktuaren errendimendua:
1. Ezagutu 28nm-tik beherako prozesua
2. Super korrosioarekiko erresistentzia
3. Errendimendu super garbia
4. Super gogortasuna
5. Dentsitate handia
6. Tenperatura handiko erresistentzia
7. Higadura erresistentzia
Prozesu konposatuen garapena:
• Grafitoa + SiC estaldura
• Solide CVD SiC
• SiC+CVD sinterizatua
• SicSintered SiC
Hainbat produktu mota garatzea:
• Eraztuna
• Taula
• Suszeptorea
• Dutxa-burua