Urteetako zehaztasun landuarekinkuartzoaprozesatzeko teknikak, harro gaude prozesatzeko zehaztasun eta produktibitate handia eskaintzeaz.
Difusio/oxidazio/deposizio (CVD) prozesuetan erabiltzen da.
Urteetako zehaztasun landuarekinkuartzoaprozesatzeko teknikak, harro gaude prozesatzeko zehaztasun eta produktibitate handia eskaintzeaz.
Difusio/oxidazio/deposizio (CVD) prozesuetan erabiltzen da.