Semicerapozik dago eskaintzeaPFA kasetea, erresistentzia kimikoa eta iraunkortasuna funtsezkoak diren inguruneetan obleak manipulatzeko aukera bikaina. Garbitasun handiko Perfluoroalkoxy (PFA) materialarekin egina, kasete hau erdieroaleen fabrikazioan baldintza zorrotzenak jasateko diseinatuta dago, zure obleen segurtasuna eta osotasuna bermatuz.
Erresistentzia kimiko paregabeaThePFA kaseteaProduktu kimiko askori erresistentzia handiagoa emateko diseinatuta dago, eta azido, disolbatzaile eta beste produktu kimiko gogorrak dituzten prozesuetarako aukera ezin hobea da. Erresistentzia kimiko sendo honek kasetea osorik eta funtzionala mantentzea bermatzen du ingurune korrosiboenetan ere, eta, ondorioz, bere bizi-iraupena luzatu eta maiz ordezkatzeko beharra murrizten du.
Garbitasun handiko eraikuntzaSemicerarenakPFA kaseteaPFA material ultrapuroz fabrikatzen da, eta hori ezinbestekoa da obleak prozesatzen diren bitartean kutsadura saihesteko. Garbitasun handiko eraikuntza honek partikulak sortzeko eta lixibiazio kimikoen arriskua murrizten du, zure obleak kalitatea arriskuan jar dezaketen ezpurutasunetatik babestuta daudela ziurtatuz.
Iraunkortasuna eta errendimendu hobetuaIraunkortasunerako diseinatuaPFA kaseteabere egitura-osotasuna mantentzen du muturreko tenperaturetan eta prozesatzeko baldintza zorrotzetan. Tenperatura altuak jasan edo behin eta berriz manipulazioa jasan, kasete honek bere forma eta errendimendua mantentzen ditu, epe luzerako fidagarritasuna eskainiz fabrikazio-ingurune zorrotzetan.
Manipulazio segururako doitasun ingeniaritzaTheSemicera PFA kaseteaIngeniaritza zehatza du, obleen manipulazio seguru eta egonkorra bermatzen duena. Zirrikitu bakoitza arreta handiz diseinatuta dago obleak segurtasunez eusteko, kalteak eragin ditzakeen edozein mugimendu edo desplazamendu saihestuz. Zehaztasun ingeniaritza honek obleak koherente eta zehatza kokatzea onartzen du, prozesuaren eraginkortasun orokorrari laguntzen dio.
Aplikazio polifazetikoa prozesuetan zeharBere materialaren propietate gorenei esker,PFA kaseteanahikoa polifazetikoa da erdieroaleen fabrikazioaren hainbat fasetan erabiltzeko. Bereziki egokia da akuaforte hezea, lurrun-deposizio kimikoa (CVD) eta ingurune kimiko gogorrak eragiten dituzten beste prozesu batzuetarako. Bere moldagarritasuna ezinbesteko tresna bihurtzen du prozesuaren osotasuna eta oblearen kalitatea mantentzeko.
Kalitatearen eta Berrikuntzaren aldeko apustuaSemiceran, industriako estandarrik altuenak betetzen dituzten produktuak eskaintzeko konpromisoa hartzen dugu. ThePFA kaseteakonpromiso hori adierazten du, zure fabrikazio prozesuetan ezin hobeto integratzen den irtenbide fidagarria eskainiz. Kasete bakoitzak kalitate-kontrol zorrotza egiten du gure errendimendu-irizpide zorrotzak betetzen dituela ziurtatzeko, Semicerarengandik espero duzun bikaintasuna eskainiz.
| Elementuak | Ekoizpena | Ikerketa | Manikoa |
| Kristal Parametroak | |||
| Politipoa | 4H | ||
| Gainazalaren orientazio errorea | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametro elektrikoak | |||
| Dopatzailea | n motako nitrogenoa | ||
| Erresistentzia | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametro mekanikoak | |||
| Diametroa | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Lodiera | 350±25 μm | ||
| Orientazio lau nagusia | [1-100]±5° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 47,5±1,5 mm | ||
| Bigarren mailako pisua | Bat ere ez | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arkua | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Egitura | |||
| Mikrohodiaren dentsitatea | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalezko ezpurutasunak | ≤5E10atomo/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Aurrealdeko Kalitatea | |||
| Aurrealdea | Si | ||
| Gainazaleko akabera | Si-face CMP | ||
| Partikulak | ≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) | NA | |
| Marradurak | ≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa | Luzera metatua≤2*Diametroa | NA |
| Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura | Bat ere ez | NA | |
| Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak | Bat ere ez | ||
| Politipo eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua≤% 20 | Azalera metatua≤% 30 |
| Aurrealdeko laser markaketa | Bat ere ez | ||
| Itzuli Kalitatea | |||
| Atzeko akabera | C-aurpegia CMP | ||
| Marradurak | ≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa | NA | |
| Atzealdeko akatsak (ertz txirbilak/koskak) | Bat ere ez | ||
| Bizkarreko zakartasuna | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Atzeko laser bidezko markaketa | 1 mm (goiko ertzetik) | ||
| Ertza | |||
| Ertza | Txanflarra | ||
| Enbalajea | |||
| Enbalajea | Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kasete ontziratzea | ||
| *Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. | |||
