Ostia eramailearen sarrera
PRODUKTU KATAGORIA
▶PECVD eta TALOX Prozesurako Wafer Carrier System
• PECVD eta TALOX grafito ontzia (M4~M12)
• SM-Boat bertikala (M4, M6)
• Inplantea eta dutxa grafito zatia (M4~M6)
• C/C erretilua eta zeramikazko estaldura
• Metalezko RIE-Erretilua eta Zeramikazko Estaldura
• Hutsean zigilatzea: O-Ring eta SQ-Ring
▶Ehundura eta Hezea Aguaforteko Transferentzia Prozesua
• LSC H-eramailea edo kasetea (M4~M12)
• LSC V-Carrier edo kasetea (M4~M12)
• ASC Eramailea edo kasetea (M4, M6)
• W/F Eramailea eta biltegiratzeko kutxa (M4~M12)
• Garraio Gurpilen (Roller) Seriea
▶Eguzki-zelulen garraiatzailea eta metal-eramailea
• TRC eramailea edo kasetea (M4~M12)
• Aldizkaria (GERRIKOarekin)
GRAFITOKO ITSASOA (H mota)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITOKO ITSASOA (H mota)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITOKO ITSASOA (H mota)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
GRAFITOKO ITSASOA (H mota)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITOKO ITSASOA (H mota)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF garraiatzailea eta biltegiratze-kutxa (~M12)
C/C ERRETILUA edo ERAMAILUA (M4~M10)
C/C ERRETILUA edo ERAMAILUA (M4~M10)
ITSASUNTZA BERTIKALA (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
GRAFITO-ONTZIA (M12)
PECVD Prozesurako Wafer Carrier Sistema
▶ GRAFITOOKO ITSASOA (CT-Diseinatua) M10/M12 Prozesua
• DISEINU KONTZEPTU BEREZIA
▶ GRAFITO TXAPELDIA (CT-Diseinatua) M4/M6 Prozesua
▶ ITSASUNTZA Osagarrien Piezak
▶ ITSASONTZI BERTIKALA-161,7 mm-ko ostia
▶ ITSASONTZI BERTIKALA-166 mm-ko OBLIA
▶ ITSASONTZI BERTIKALA-161,7 mm, 166 mm-ko ostia
Eguzki-zelula eramailea eta metalezko TRC eramailea
MOTA: Automatizazioa
OBLEAREN TAMAINA: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
ERABILERA: Eraman (kasetea)
EDUKIERA: 100 orri
ZEHAR: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
NEURRIA: 559 × 220 × 220 mm inguru
712 × 260 × 260 mm inguru
ABANTAILA: Giroa
MATERIALA: SUGAR, ALBOKO BARRA-Aluminioa (anodizazioa)
ALBOKO PLAKA-POM (antiestatikoa)
Beheko barraren estalkia-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (ERABILTZAILEEN LERROA)
TRC-METAL CARRIER (ERABILTZAILEEN LERROA)
TRC-METAL CARRIER (ERABILTZAILEEN LERROA)
DUTXEKO PLAKA ETA INPLANTEA, ERAGAILUA
