Zeintzuk dira SiC substratuen prozesatzeko urrats nagusiak?

SiC substratuetarako nola ekoizten eta prozesatzeko urratsak hauek dira:

1. Kristalaren orientazioa: X izpien difrakzioa erabiliz kristalezko lingotea orientatzeko. X izpien izpi bat nahi den kristalaren aurpegira zuzentzen denean, difraktatutako izpiaren angeluak kristalaren orientazioa zehazten du.

2. Kanpoko diametroa artezketa: grafitozko arragoetan hazitako kristal bakarrek diametro estandarrak gainditzen dituzte sarritan. Kanpoko diametroa artezteko neurri estandarrak murrizten ditu.

 

3.End Face Grinding: 4 hazbeteko 4H-SiC substratuek normalean bi kokapen ertz dituzte, primarioa eta bigarren mailakoa. Amaiera aurpegia artezketa kokapen ertz hauek irekitzen ditu.

4. Alanbre-zerra: alanbre-zerra urrats erabakigarria da 4H-SiC substratuak prozesatzeko. Alanbre-zerrak egitean eragindako pitzadurek eta gainazaleko kalteek negatiboki eragiten dute ondorengo prozesuetan, prozesatzeko denbora luzatuz eta material-galera eraginez. Metodo ohikoena hari anitzeko zerraketa da diamante urratzailearekin. 4H-SiC lingotea mozteko diamante urratzaileekin loturiko metal-harien mugimendu bira bat erabiltzen da.

5. Txanflatzea: ertzak txirbilak saihesteko eta ondorengo prozesuetan kontsumigarrien galerak murrizteko, alanbre-zerratutako txirbilen ertz zorrotzak zehazten dira forma zehatzetara.

6. Mehetzea: alanbre zerrak marradura eta gainazaleko kalte ugari uzten ditu. Mehetzea diamantezko gurpilak erabiliz egiten da akats horiek ahalik eta gehien kentzeko.

7. Artezketa: Prozesu honek artezketa zakarra eta artezketa fina barne hartzen ditu, tamaina txikiagoko boro karburoa edo diamante urratzaileak erabiliz, hondar-kalteak eta mehetzean sartutako kalte berriak kentzeko.

8. Leuntzea: azken urratsak leunketa zakarra eta leunketa fina dakar alumina edo silizio oxidozko urratzaileak erabiliz. Leuntzeko likidoak gainazala leundu egiten du, eta gero urratzaileen bidez mekanikoki kentzen da. Urrats honek gainazal leuna eta kalterik gabekoa bermatzen du.

9. Garbiketa: prozesatzeko urratsetatik geratzen diren partikulak, metalak, oxido-filmak, hondakin organikoak eta beste kutsatzaile batzuk kentzea.