Ekoizpen lerroaren aurrealdea etxe baten zimenduak jartzea eta hormak eraikitzea bezalakoa da. Erdieroaleen fabrikazioan, etapa honetan oinarrizko egiturak eta transistoreak sortzen dira siliziozko olatu batean.
FEOLen funtsezko urratsak:
1. Garbiketa:Hasi siliziozko oblea mehe batekin eta garbitu ezpurutasunak kentzeko.
2. Oxidazioa:Hazi silizio dioxido geruza bat oblean txiparen zati desberdinak isolatzeko.
3. Fotolitografia:Erabili fotolitografia oblean ereduak grabatzeko, argiarekin planoak marrazteko antzera.
4. Aguafortea:Garbitu nahi ez den silizio dioxidoa nahi diren ereduak agertzeko.
5. Dopina:Sartu ezpurutasunak silizioan bere propietate elektrikoak aldatzeko, transistoreak sortuz, edozein txipren oinarrizko eraikuntza-blokeak.
Mid End of Line (MEOL): puntuak konektatzea
Ekoizpen-lerroaren erdiko amaiera etxe batean kableatuak eta iturgintza instalatzea bezalakoa da. Etapa hau FEOL etapan sortutako transistoreen arteko konexioak ezartzean zentratzen da.
MEOL-en funtsezko urratsak:
1. Deposizio dielektrikoa:Jarri geruza isolatzaileak (dielektriko izenekoak) transistoreak babesteko.
2. Harremanetarako eraketa:Eratu kontaktuak transistoreak elkarren artean eta kanpoko munduarekin konektatzeko.
3. Interkonexioa:Gehitu metalezko geruzak seinale elektrikoetarako bideak sortzeko, etxe bat kableatzeko moduan, potentzia eta datu-fluxua bermatzeko.
Atzeko lerroaren amaiera (BEOL): azken ukituak
-
Ekoizpen-lerroaren atzealdea etxe bati azken ukituak ematea bezalakoa da: ekipamenduak instalatzea, margotzea eta dena funtzionatzen duela ziurtatzea. Erdieroaleen fabrikazioan, fase honetan, azken geruzak gehitu eta txipa ontziratzeko prestatzen da.
BEOLen funtsezko urratsak:
1. Metalezko geruza osagarriak:Gehitu metalezko geruza bat baino gehiago interkonektibitatea hobetzeko, txipak zeregin konplexuak eta abiadura handiak kudeatu ditzakeela ziurtatuz.
2. Pasibazioa:Aplikatu babes-geruzak txipa ingurumen-kalteetatik babesteko.
3. Probak:Jarri txipa proba zorrotzei zehaztapen guztiak betetzen dituela ziurtatzeko.
4. Dadoak:Moztu ostia txip banatan, bakoitza ontziratzeko eta gailu elektronikoetan erabiltzeko prest.
Argitalpenaren ordua: 2024-08-08