Erdieroaleak:
Erdieroaleen industriak "teknologia belaunaldi bat, prozesu belaunaldi bat eta ekipamendu belaunaldi bat" lege industrialari jarraitzen dio, eta erdieroaleen ekipamenduen berritzea eta errepikatzea zehaztasun piezen aurrerapen teknologikoaren araberakoa da neurri handi batean. Horien artean, doitasun zeramikazko piezak erdieroaleen zehaztasun piezen material adierazgarrienak dira, eta aplikazio garrantzitsuak dituzte erdieroaleen fabrikazio-lotura handi batzuetan, hala nola lurrun-deposizio kimikoa, lurrun-jadapen fisikoa, ioi-inplantazioa eta grabatua. Hala nola, errodamenduak, gida-errailak, estaldurak, mandril elektrostatikoak, manipulazio-beso mekanikoak, etab. Batez ere ekipamenduaren barrunbean, euskarri, babes eta desbideratze papera betetzen du.
2023az geroztik, Herbehereek eta Japoniak ere araudi berriak edo atzerriko merkataritzako dekretu berriak eman dituzte kontrolari buruz, ekipamendu erdieroaleen esportazio-lizentzien araudia gehituz, litografia-makinak barne, eta erdieroaleen aurkako globalizazioaren joera azaleratu da pixkanaka. Hornikuntza-katearen kontrol independentearen garrantzia gero eta nabarmenagoa da. Erdieroaleen ekipoen piezen lokalizazio eskaeraren aurrean, etxeko enpresek garapen industriala aktiboki sustatzen dute. Zhongci Electronics-ek goi-teknologiako zehaztasun-piezen lokalizazioaz jabetu da, hala nola, berogailu-plakak eta chucks elektrostatikoak, etxeko erdieroaleen ekipamenduen industriaren "botila-lepoa" arazoa konponduz; Dezhi New Materials-ek, SiC estalitako grafito-baseen eta SiC grabatu-eraztunen etxeko hornitzaile nagusiak, arrakastaz osatu du 100 milioi yuaneko finantzaketa, etab....
Eroankortasun handiko silizio nitruro zeramikazko substratuak:
Silizio nitruro zeramikazko substratuak ibilgailu elektriko puruen (EV) eta ibilgailu elektriko hibridoen (HEV) potentzia-unitateetan, erdieroaleen gailuetan eta inbertsoreetan erabiltzen dira, eta merkatu-potentzial eta aplikazio-itxaropen handiak dituzte.
Gaur egun, eroankortasun termiko handiko silizio nitruro zeramikazko substratu-materialek merkataritza-aplikazioetarako eroankortasun termikoa ≥85 W/(m·K), tolestura-indarra ≥650MPa eta haustura gogortasuna 5~7MPa·m1/2 behar dituzte. Benetan eroankortasun termiko handiko silizio nitruro zeramikazko substratuak masa ekoizteko gaitasuna duten enpresak Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa eta Japan Fine Ceramics dira batez ere.
Silizio nitruro zeramikazko substratu materialen inguruko ikerketak ere aurrerapen batzuk eman ditu. Sinoma High-Tech Nitruro Ceramics Co., Ltd.-ren Beijing Branch of Sinoma High-Tech Nitrude Ceramics Co., Ltd.-ren zinta-galdaketa-prozesuaren bidez prestatutako silizio nitruro zeramikazko substratuaren eroankortasun termikoa 100 W/(m·K) da; Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd.-k silizio-nitruro zeramikazko substratu bat prestatu du 700-800MPa-ko tolestura-indarra, haustura-gogortasuna ≥8MPa·m1/2 eta ≥80W/(m·K) eroankortasun termikoa. sinterizazio metodoa eta prozesua optimizatuz.
Argitalpenaren ordua: 2024-10-29