Garbitasun handiko SiC Eramaile/Susceptor

Deskribapen laburra:

Silizio karburoko errodamendu-diskoa SIC erretilua, silizio karburoa grabatzeko diskoa, ICP grabatzeko diskoa ere ezagutzen da. Siliziozko karburozko erretilua LED grabatzeko (SiC erretilua) φ600mm siliziozko grabaketa sakonerako osagarri berezi bat da (ICP grabatzeko makina).

Bidali mezu elektronikoa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Deskribapena

Silizio karburozko zeramikak propietate mekaniko bikainak ditu giro-tenperaturan, hala nola, erresistentzia handia, gogortasun handia, modulu elastiko handia, etab., tenperatura altuko egonkortasun bikaina ere badu, hala nola eroankortasun termiko handia, hedapen termiko koefiziente baxua eta zurruntasun espezifiko eta optiko ona. prozesatzeko errendimendua.
Zirkuitu integratuetako ekipoetarako doitasun zeramikazko piezak ekoizteko bereziki egokiak dira, hala nola, litografia-makinetarako, batez ere SiC eramailea/susceptorea, SiC ostia ontzia, xurgatze-diska, ura hozteko plaka, doitasun-neurketa islatzailea, sareta eta zeramikazko egiturazko beste pieza batzuk fabrikatzeko.

eramailea2

eramailea3

eramailea4

Abantailak

Tenperatura handiko erresistentzia: erabilera normala 1800 ℃-tan
Eroankortasun termiko handia: grafitozko materialaren baliokidea
Gogortasun handia: diamantearen eta boro nitruroaren bigarren gogortasuna
Korrosioarekiko erresistentzia: azido sendoak eta alkaliak ez dute korrosiorik, korrosioarekiko erresistentzia hobea da wolframio karburoa eta alumina baino.
Pisu arina: dentsitate baxua, aluminiotik hurbil
Deformaziorik ez: dilatazio termiko koefiziente baxua
Shock termikoaren erresistentzia: tenperatura aldaketa zorrotzak jasan ditzake, shock termikoari aurre egin eta errendimendu egonkorra du.
Silizio karburoko eramailea, hala nola, sic grabaketa eramailea, ICP akuafortearen susceptor, oso erabilia da erdieroale CVD, hutsean sputtering eta abar. Bezeroei silizio eta silizio karburozko materialen ostia pertsonalizatuak eskain diezazkiekegu aplikazio desberdinak asetzeko.

Abantailak

Jabetza	Balioa	Metodoa
Dentsitatea	3,21 g/cc	Konketa-flotatzailea eta dimentsioa
Bero espezifikoa	0,66 J/g °K	Laser flash pultsatua
Flexio-indarra	450 MPa560 MPa	4 puntuko bihurgunea, RT4 puntuko bihurgunea, 1300°
Hausturaren gogortasuna	2,94 MPa m1/2	Mikrokoskaketa
Gogortasuna	2800	Vickerrena, 500 g karga
Modulu elastikoaYoung-en Modulua	450 GPa430 GPa	4 pt bihurgunea, RT4 pt bihurgunea, 1300 °C
Alearen tamaina	2-10 µm	SEM

Enpresaren profila

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. zeramika erdieroale aurreratuen hornitzaile nagusia da eta aldi berean purutasun handiko silizio karburozko zeramika (batez ere SiC birkristalizatua) eta CVD SiC estaldura eskain ditzakeen Txinan fabrikatzaile bakarra. Horrez gain, gure konpainiak zeramika arloekin ere konpromisoa hartzen du, hala nola alumina, aluminio nitruroa, zirkonia eta silizio nitruroa, etab.

Gure produktu nagusiak honako hauek dira: silizio karburozko grabaketa diskoa, silizio karburozko itsasontzien atoia, silizio karburozko ontzia (fotovoltaikoa eta erdieroalea), silizio karburozko labeko hodia, silizio karburozko aldagelaren pala, silizio karburozko txalupak, silizio karburozko habea, baita CVD SiC estaldura eta TaC ere. estaldura. Erdieroaleetan eta industria fotovoltaikoetan erabiltzen diren produktuak, hala nola, kristalen hazkuntzarako ekipoak, epitaxia, akuafortea, ontziratzea, estaldura eta difusio labeak, etab.
buruz (2)