Semicera harro dago aurkezteazGa2O3Substratua, potentzia elektronika eta optoelektronika iraultzeko prest dagoen punta-puntako materiala.Galio oxidoa (Ga2O3) substratuakbanda-gap ultra zabalagatik ezagunak dira, potentzia handiko eta maiztasun handiko gailuetarako aproposak izanik.
Ezaugarri nagusiak:
• Ultra-Wide Bandgap: Ga2O3-k gutxi gorabehera 4,8 eV-ko banda-aldea eskaintzen du, tentsio eta tenperatura altuak kudeatzeko gaitasuna nabarmen hobetuz Silizioa eta GaN bezalako material tradizionalekin alderatuta.
• Matxura Tentsio Handia: Matxura-eremu aparteko batekin, theGa2O3Substratuaezin hobea da tentsio handiko funtzionamendua behar duten gailuetarako, eraginkortasun eta fidagarritasun handiagoa bermatuz.
• Egonkortasun termikoa: materialaren egonkortasun termiko handiari esker, muturreko inguruneetan aplikazioetarako egokia da, errendimendua mantenduz baldintza gogorretan ere.
• Aplikazio polifazetikoak: eraginkortasun handiko potentzia-transistoreetan, UV gailu optoelektronikoetan eta abarretan erabiltzeko aproposa, sistema elektroniko aurreratuen oinarri sendoa eskainiz.
Bizi ezazu erdieroaleen teknologiaren etorkizuna Semicera-rekinGa2O3Substratua. Potentzia handiko eta maiztasun handiko elektronikaren eskakizun gero eta handiagoak asetzeko diseinatua, substratu honek errendimendu eta iraunkortasun estandar berri bat ezartzen du. Fidatu Semiceran zure aplikazio zailenetarako soluzio berritzaileak emateko.
| Elementuak | Ekoizpena | Ikerketa | Dummy |
| Kristal Parametroak | |||
| Politipoa | 4H | ||
| Gainazalaren orientazio errorea | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametro elektrikoak | |||
| Dopatzailea | n motako nitrogenoa | ||
| Erresistentzia | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametro mekanikoak | |||
| Diametroa | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Lodiera | 350±25 μm | ||
| Lehen mailako orientazioa laua | [1-100]±5° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 47,5±1,5 mm | ||
| Bigarren mailako pisua | Bat ere ez | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arkua | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Egitura | |||
| Mikrohodiaren dentsitatea | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalezko ezpurutasunak | ≤5E10atomo/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Aurrealdeko Kalitatea | |||
| Aurrealdea | Si | ||
| Gainazaleko akabera | Si-face CMP | ||
| Partikulak | ≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) | NA | |
| Marradurak | ≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa | Luzera metatua≤2*Diametroa | NA |
| Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura | Bat ere ez | NA | |
| Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak | Bat ere ez | ||
| Politipo eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua≤% 20 | Azalera metatua≤% 30 |
| Aurrealdeko laser bidezko markaketa | Bat ere ez | ||
| Itzuli Kalitatea | |||
| Atzeko akabera | C-aurpegia CMP | ||
| Marradurak | ≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa | NA | |
| Atzealdeko akatsak (ertz txirbilak/koskak) | Bat ere ez | ||
| Bizkarreko zakartasuna | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Atzeko laser bidezko markaketa | 1 mm (goiko ertzetik) | ||
| Ertza | |||
| Ertza | Txanflarra | ||
| Enbalajea | |||
| Enbalajea | Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kasete ontziratzea | ||
| *Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. | |||
