Bulk CVD SiC eraztuna

Deskribapen laburra:

Bulk CVD SiC eraztunek silizio iturriko gasa (adibidez, silizio hidruroa) eta karbono iturriko gasa (adibidez, metanoa) erabiltzen dituzte lehengai gisa, tenperatura altuan erreakzionatuz, tamaina handiko SiC materialak substratu edo molde batean metatzeko. Prozesu honi esker, SiC eremu handi batean uniformeki metatzea ahalbidetzen du, eraztun-egitura sendo eta koherentea osatuz.

Bidali mezu elektronikoa

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Zergatik da siliziozko karburozko eraztuna?

RTPCVD SiC eraztunakoso erabiliak dira industria eta zientzia arloetan tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan. Eginkizun garrantzitsua betetzen du erdieroaleen fabrikazioan, optoelektronikan, doitasun-makinetan eta industria kimikoan. Aplikazio espezifikoak honako hauek dira:

1. Erdieroaleen fabrikazioa:RTP CVD SiC eraztunakErdieroaleen ekipamenduak berotzeko eta hozteko erabil daiteke, tenperatura-kontrol egonkorra eskainiz eta prozesuaren zehaztasuna eta koherentzia bermatuz.

2. Optoelektronika: bere eroankortasun termiko bikainagatik eta tenperatura altuko erresistentziagatik, RTPCVD SiC eraztunakeuskarri eta beroa xahutzeko material gisa erabil daiteke laserretarako, zuntz optikoko komunikazio ekipoetarako eta osagai optikoetarako.

3. Doitasun-makineria: RTP CVD SiC eraztunak tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetako doitasun-tresnak eta ekipamenduetarako erabil daitezke, hala nola, tenperatura altuko labeak, hutseko gailuak eta erreaktore kimikoak.

4. Industria kimikoa: Korrosioarekiko erresistentzia eta egonkortasun kimikoa direla eta, RTP CVD SiC eraztunak ontzi, hodi eta erreaktoreetan erabil daitezke erreakzio kimikoetan eta prozesu katalitikoetan.

Epi Sistema

RTP Sistema

CVD Sistema

Produktuaren errendimendua:

1. Ezagutu 28nm-tik beherako prozesua

2. Super korrosioarekiko erresistentzia

3. Errendimendu super garbia

4. Super gogortasuna

5. Dentsitate handia

6. Tenperatura handiko erresistentzia

7. Higadura erresistentzia

Produktuen aplikazioa:

Silizio karburozko materialek gogortasun handiko, higadura erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia eta tenperatura altuko egonkortasunaren ezaugarriak dituzte. Errendimendu integral bikaina duten produktuak oso erabiliak dira grabaketa lehorrean eta TF/Difusio prozesuetan.