Semiceraren Aixtron G5-erako 6"-ko oblea-garraioa Aixtron G5 sistemetako epitaxial-hazkuntza-prozesuen eskakizun zorrotzak asetzeko diseinatuta dago. Kalitate handiko grafitoz eraikia, hauostia eramaileaegonkortasuna eta uniformetasuna bermatzen duCVDetaMOCVD prozesuak, epi-erreaktorean jalkitze zehatza ahalbidetuz.
batekinsilizio karburozko zeramikaestaldura, Aixtron G5-rako 6"-ko Wafer Carrier-ek iraunkortasun eta erresistentzia termiko hobeak eskaintzen ditu, hazkunde epitaxialean tenperatura altuko aplikazioetarako aproposa da. Produktu hau eraginkorra laguntzeko diseinatuta dagoostiaerdieroaleen ekoizpenean manipulatzea eta errendimendua maximizatzea.
Semiceran erdieroaleen industriarako goi mailako soluzioak eskaintzera bideratzen gara. Gure obleen eramaileak fidagarritasunerako eraikita daude, Aixtron G5 sistemetan eta beste batzuetan funtzionamendu ona bermatuzCVD epitaxiaerreaktoreak. Silizio karburoarekin edo beste material batzuekin lan egiten ari zaren ala ez, obleen eramaile honek erdieroaleen fabrikazio aurreratuetarako behar den zehaztasuna eta koherentzia bermatzen ditu.
Ezaugarri nagusiak:
• Aixtron G5 sistemetarako eta beste CVD MOCVD erreaktoreetarako optimizatua.
• Kalitate handiko grafitozko suszeptorea, silizio karburozko zeramikazko estaldurarekin, iraunkortasun handiagoa lortzeko.
• Zehaztasuna eta egonkortasun termikoa behar duten hazkuntza epitaxiako prozesuetarako aproposa.
• Obleen manipulazio fidagarria ingurune erdieroale konplexuetan.
Semicera punta-puntako irtenbideak eskaintzera dihardu, 6"-ko obleen garraiolari bakoitzak zure epitaxia beharretarako estandarrik altuenak betetzen dituela bermatuz.