Semicera-ren 4 hazbeteko N motako SiC substratuak erdieroaleen industriaren estandar zorrotzak betetzeko landuak dira. Substratu hauek errendimendu handiko oinarria eskaintzen dute aplikazio elektroniko askorentzat, eroankortasun eta propietate termiko apartak eskainiz.
SiC substratu hauen N motako dopingak eroankortasun elektrikoa hobetzen du, potentzia handiko eta maiztasun handiko aplikazioetarako bereziki egokiak izanik. Propietate honek diodoak, transistoreak eta anplifikadoreak bezalako gailuen funtzionamendu eraginkorra ahalbidetzen du, non energia-galera gutxitzea funtsezkoa den.
Semicerak puntako fabrikazio-prozesuak erabiltzen ditu substratu bakoitzak gainazaleko kalitate eta uniformetasun bikainak dituela ziurtatzeko. Zehaztasun hori ezinbestekoa da potentzia elektronikako, mikrouhin-gailuetarako eta muturreko baldintzetan errendimendu fidagarria eskatzen duten beste teknologia batzuetarako.
Semicera-ren N motako SiC substratuak zure produkzio-lerroan sartzeak beroa xurgatzeko eta egonkortasun elektriko handiagoa eskaintzen duten materialez etekina ateratzea dakar. Substratu hauek iraunkortasuna eta eraginkortasuna eskatzen duten osagaiak sortzeko aproposak dira, hala nola potentzia bihurtzeko sistemak eta RF anplifikadoreak.
Semicera-ren 4 hazbeteko N motako SiC substratuak aukeratuta, material zientzia berritzailea eta eskulan zorrotza uztartzen dituen produktu batean inbertitzen ari zara. Semicerak industria liderra jarraitzen du puntako erdieroaleen teknologien garapena onartzen duten soluzioak eskainiz, errendimendu eta fidagarritasun handia bermatuz.
| Elementuak | Ekoizpena | Ikerketa | Manikoa |
| Kristal Parametroak | |||
| Politipoa | 4H | ||
| Gainazalaren orientazio errorea | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametro elektrikoak | |||
| Dopatzailea | n motako nitrogenoa | ||
| Erresistentzia | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametro mekanikoak | |||
| Diametroa | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Lodiera | 350±25 μm | ||
| Orientazio lau nagusia | [1-100]±5° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 47,5±1,5 mm | ||
| Bigarren mailako pisua | Bat ere ez | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arkua | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Egitura | |||
| Mikrohodiaren dentsitatea | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalezko ezpurutasunak | ≤5E10atomo/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Aurrealdeko Kalitatea | |||
| Aurrealdea | Si | ||
| Gainazaleko akabera | Si-face CMP | ||
| Partikulak | ≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) | NA | |
| Marradurak | ≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa | Luzera metatua≤2*Diametroa | NA |
| Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura | Bat ere ez | NA | |
| Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak | Bat ere ez | ||
| Politipo eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua≤% 20 | Azalera metatua≤% 30 |
| Aurrealdeko laser bidezko markaketa | Bat ere ez | ||
| Itzuli Kalitatea | |||
| Atzeko akabera | C-aurpegia CMP | ||
| Marradurak | ≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa | NA | |
| Atzealdeko akatsak (ertz txirbilak/koskak) | Bat ere ez | ||
| Bizkarreko zakartasuna | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Atzeko laser bidezko markaketa | 1 mm (goiko ertzetik) | ||
| Ertza | |||
| Ertza | Txanflarra | ||
| Enbalajea | |||
| Enbalajea | Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kaseteen ontziratzea | ||
| *Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. | |||
