Silizio karburoa (SiC) kristal bakarreko materialak banda zabalera handia du (~ Si 3 aldiz), eroankortasun termiko handia (~ Si 3,3 aldiz edo GaAs 10 aldiz), elektroien saturazio-tasa handia (~ Si 2,5 aldiz), matxura elektriko handia. eremua (~Si 10 aldiz edo GaAs 5 aldiz) eta beste ezaugarri nabarmen batzuk.
Hirugarren belaunaldiko material erdieroaleek SiC, GaN, diamantea eta abar barne hartzen dituzte batez ere, bere banda-hutsunearen zabalera (Eg) 2,3 elektroi-volt (eV) baino handiagoa edo berdina delako, banda zabaleko material erdieroale gisa ere ezaguna. Lehenengo eta bigarren belaunaldiko material erdieroaleekin alderatuta, hirugarren belaunaldiko material erdieroaleek eroankortasun termiko handia, matxura handiko eremu elektrikoa, saturatu elektroien migrazio-tasa handia eta lotura-energia handia dituzte, teknologia elektroniko modernoaren eskakizun berriak bete ditzaketenak. tenperatura, potentzia handia, presio altua, maiztasun handiko eta erradiazioaren erresistentzia eta beste baldintza gogorrak. Aplikazio-aukera garrantzitsuak ditu defentsa nazionalean, hegazkinean, aeroespazialean, petrolioaren esplorazioan, biltegiratze optikoan, etab., eta energia-galera % 50 baino gehiago murriztu dezake industria estrategiko askotan, hala nola banda zabaleko komunikazioetan, eguzki-energian, automobilen fabrikazioan, erdieroaleen argiztapena eta sare adimenduna, eta ekipoen bolumena % 75 baino gehiago murrizten du, hau da, giza zientziaren eta teknologiaren garapenerako mugarri garrantzitsua dena.
Semicera energiak bezeroei kalitate handiko eroalea (eroalea), erdi isolatzailea (erdi isolatzailea), HPSI (garbitasun handiko erdi isolatzailea) silizio karburozko substratua eskain diezaieke; Horrez gain, bezeroei silizio karburo epitaxial xafla homogeneoak eta heterogeneoak eskain ditzakegu; Epitaxial orria ere pertsonaliza dezakegu bezeroen behar espezifikoen arabera, eta ez dago eskaera gutxieneko kantitaterik.
OTILA-ZEHAZTAPENAK
*n-Pm=n motako Pm-kalifikazioa, n-Ps=n motako Ps-maila, Sl=erdi isolatzailea
| Elementua | 8-inch | 6-inch | 4-Hazbete | ||
| nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Branka (GF3YFCD)-Balio absolutua | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV (SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| Ostia Ertza | Alakatuz | ||||
AZALERAKO AKABERA
*n-Pm=n motako Pm-maila, n-Ps=n-motako Ps-maila, Sl=Erdi-isolatzailea
| Elementua | 8-inch | 6-inch | 4-Hazbete | ||
| nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
| Azalera akabera | Alde bikoitzeko polanidura optikoa, Si- Face CMP | ||||
| AzaleraZurtasuna | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0,5 nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm | |||
| Ertz Txipak | Ez dago onartzen (luzera eta zabalera ≥0,5 mm) | ||||
| Koskak | Ez dago baimenduta | ||||
| Marradurak (Si-Face) | Kopurua ≤5, metatua Length≤0,5 × oblearen diametroa | Kopurua ≤5, metatua Length≤0,5 × oblearen diametroa | Kopurua ≤5, metatua Length≤0,5 × oblearen diametroa | ||
| Pitzadurak | Ez dago baimenduta | ||||
| Ertz-bazterketa | 3 mm | ||||
