Semiceraharro dago aurkezteaz30 mm-ko aluminiozko nitrurozko obleen substratua, aplikazio elektroniko eta optoelektroniko modernoen eskakizun zorrotzei erantzuteko diseinatutako goi mailako materiala. Aluminio nitruroa (AlN) substratuek eroankortasun termiko eta isolamendu elektrikoaren propietate bikainagatik ezagunak dira, eta errendimendu handiko gailuetarako aukera ezin hobea da.
Ezaugarri nagusiak:
• Salbuespenezko eroankortasun termikoa: The30 mm-ko aluminiozko nitrurozko obleen substratua170 W/mK-ko eroankortasun termikoa dauka, beste substratu-material batzuk baino nabarmen handiagoa, potentzia handiko aplikazioetan beroa xahupen eraginkorra bermatuz.
•Isolamendu Elektriko handia: Isolamendu elektrikoen propietate bikainekin, substratu honek diapositiba eta seinaleen interferentziak minimizatzen ditu, RF eta mikrouhinen aplikazioetarako aproposa da.
•Erresistentzia Mekanikoa: The30 mm-ko aluminiozko nitrurozko obleen substratuaErresistentzia mekaniko eta egonkortasun handiagoa eskaintzen du, iraunkortasuna eta fidagarritasuna bermatuz funtzionamendu baldintza zorrotzetan ere.
•Aplikazio polifazetikoak: Substratu hau potentzia handiko LED, laser diodo eta RF osagaietan erabiltzeko ezin hobea da, zure proiektu zorrotzenetarako oinarri sendo eta fidagarria eskaintzen duena.
•Zehaztasuneko Fabrikazioa: Semicerak ostia-substratu bakoitza zehaztasun handienarekin fabrikatzen dela bermatzen du, lodiera uniformea eta gainazaleko kalitatea eskainiz gailu elektroniko aurreratuen estandar zorrotzak betetzeko.
Maximizatu zure gailuen eraginkortasuna eta fidagarritasuna Semicera-rekin30 mm-ko aluminiozko nitrurozko obleen substratua. Gure substratuak errendimendu handiagoa eskaintzeko diseinatuta daude, zure sistema elektroniko eta optoelektronikoak bere onenean funtzionatuko dutela bermatuz. Konfiantza ezazu Semicera kalitatean eta berrikuntzan industria liderra den puntako materialetarako.
| Elementuak | Ekoizpena | Ikerketa | Manikoa |
| Kristal Parametroak | |||
| Politipoa | 4H | ||
| Gainazalaren orientazio errorea | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametro elektrikoak | |||
| Dopatzailea | n motako nitrogenoa | ||
| Erresistentzia | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Parametro mekanikoak | |||
| Diametroa | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Lodiera | 350±25 μm | ||
| Orientazio lau nagusia | [1-100]±5° | ||
| Lehen mailako luzera laua | 47,5±1,5 mm | ||
| Bigarren mailako pisua | Bat ere ez | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Arkua | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Aurrealdeko (Si-aurpegia) zimurtasuna (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Egitura | |||
| Mikrohodiaren dentsitatea | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalezko ezpurutasunak | ≤5E10atomo/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Aurrealdeko Kalitatea | |||
| Aurrealdea | Si | ||
| Gainazaleko akabera | Si-face CMP | ||
| Partikulak | ≤60ea/oblea (tamaina ≥0.3μm) | NA | |
| Marradurak | ≤5ea/mm. Luzera metatua ≤Diametroa | Luzera metatua≤2*Diametroa | NA |
| Laranja azala/hobiak/orbanak/striadurak/ pitzadurak/kutsadura | Bat ere ez | NA | |
| Ertzaren txirbilak/koskak/hausturak/hexagonaleko plakak | Bat ere ez | ||
| Politipo eremuak | Bat ere ez | Azalera metatua≤% 20 | Azalera metatua≤% 30 |
| Aurrealdeko laser bidezko markaketa | Bat ere ez | ||
| Itzuli Kalitatea | |||
| Atzeko akabera | C-aurpegia CMP | ||
| Marradurak | ≤5ea/mm, Luzera metatua ≤2*Diametroa | NA | |
| Atzealdeko akatsak (ertz txirbilak/koskak) | Bat ere ez | ||
| Bizkarreko zakartasuna | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Atzeko laser bidezko markaketa | 1 mm (goiko ertzetik) | ||
| Ertza | |||
| Ertza | Txanflarra | ||
| Enbalajea | |||
| Enbalajea | Epi-prest hutsean ontziratzearekin Ostia anitzeko kaseteen ontziratzea | ||
| *Oharrak: "NA" esan nahi du ez dagoela eskaerarik Aipatutako elementuek SEMI-STD-i erreferentzia egin dezakete. | |||
