Semicera-ren 2 ~ 6 hazbeteko 4° angelutik kanpoko P motako 4H-SiC substratuak errendimendu handiko potentzia eta RF gailuen fabrikatzaileen hazten ari diren beharrei erantzuteko diseinatuta daude. 4°-ko angelutik kanpoko orientazioak hazkunde epitaxial optimizatua bermatzen du, substratu hau gailu erdieroale askotarako oinarri ezin hobea bihurtuz, MOSFETak, IGBTak eta diodoak barne.
2 ~ 6 hazbeteko 4° off angeluko P motako 4H-SiC substratu honek material propietate bikainak ditu, eroankortasun termiko handia, errendimendu elektriko bikaina eta egonkortasun mekaniko bikaina barne. Angelutik kanpoko orientazioak mikrohodien dentsitatea murrizten laguntzen du eta geruza epitaxial leunagoak sustatzen ditu, eta hori funtsezkoa da azken erdieroalearen errendimendua eta fidagarritasuna hobetzeko.
Semiceraren 2 ~ 6 hazbeteko 4° angelutik kanpo P motako 4H-SiC substratuak hainbat diametrotan daude eskuragarri, 2 hazbetetik 6 hazbete bitartekoak, fabrikazio-eskakizun desberdinak asetzeko. Gure substratuak zehatz-mehatz diseinatuta daude dopa-maila uniformeak eta kalitate handiko gainazaleko ezaugarriak eskaintzeko, ostia bakoitzak aplikazio elektroniko aurreratuetarako eskatzen diren zehaztapen zorrotzak betetzen dituela bermatuz.
Semicerak berrikuntzaren eta kalitatearen aldeko apustuak bermatzen du gure 2 ~ 6 hazbeteko 4° angelutik kanpoko P motako 4H-SiC substratuek errendimendu koherentea eskaintzen dutela aplikazio sorta zabalean potentzia elektronikatik maiztasun handiko gailuetara. Produktu honek konponbide fidagarria eskaintzen du energia-eraginkortasun handiko eta errendimendu handiko erdieroaleen hurrengo belaunaldirako, automozioa, telekomunikazioak eta energia berriztagarriak bezalako industrietan aurrerapen teknologikoak lagunduz.
Tamainari lotutako estandarrak
Tamaina | 2-Hazbete | 4-Hazbete |
Diametroa | 50,8 mm±0,38 mm | 100,0 mm+0/-0,5 mm |
Azalera Orentazioa | 4° aldera<11-20>±0,5° | 4° aldera<11-20>±0,5° |
Lehen mailako luzera laua | 16,0 mm±1,5 mm | 32,5 mm ± 2 mm |
Bigarren mailako Luzera Laua | 8,0 mm ± 1,5 mm | 18,0 mm ± 2 mm |
Lehen mailako orientazioa | Paraleloa <11-20>±5,0° | Paraleloa<11-20>±5,0c |
Bigarren mailako Pisuaren Orientazioa | 90° CW primariotik ± 5,0°, silizioa gora begira | 90° CW primariotik ± 5,0°, silizioa gora begira |
Azalera akabera | C-Aurpegia: Polish Optikoa, Si-Aurpegia: CMP | C-Face:OpticalPolish, Si-Face: CMP |
Ostia Ertza | Alakatuz | Alakatuz |
Gainazalaren zimurtasuna | Si-Face Ra<0,2 nm | Si-Face Ra<0,2 nm |
Lodiera | 350,0±25,0um | 350,0±25,0um |
Politipoa | 4H | 4H |
Dopina | p-Mota | p-Mota |
Tamainari lotutako estandarrak
Tamaina | 6-inch |
Diametroa | 150,0 mm+0/-0,2 mm |
Azalera Orientazioa | 4° aldera<11-20>±0,5° |
Lehen mailako luzera laua | 47,5 mm ± 1,5 mm |
Bigarren mailako Luzera Laua | Bat ere ez |
Lehen mailako orientazioa | <11-20>±5,0°-rekin paraleloan |
Bigarren mailako Laua Orientazioa | 90° CW primariotik ± 5,0°, silizioa gora begira |
Azalera akabera | C-Aurpegia: Polish Optikoa, Si-Face:CMP |
Ostia Ertza | Alakatuz |
Gainazalaren zimurtasuna | Si-Face Ra<0,2 nm |
Lodiera | 350,0±25,0μm |
Politipoa | 4H |
Dopina | p-Mota |